1700度高真空管式炉
TL1700-C单温区CVD系统详细技术参数
| TL1700管式炉 |
型号 |
TL1700-C-I |
TL1700-C-II |
TL1700-C-III |
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| 炉管尺寸OD（mm） |
高纯刚玉管:60/80/100*1000mm(管径可选） 两边各放置两个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置
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功率 |
5KW |
5KW |
6KW |
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最高温度 |
1700℃ |
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额定温度 |
1650℃ |
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真空炉管内真空度 |
8X10 -4 |
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电压 |
220V / 380V |
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
1800型硅钼棒 |
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炉膛 |
1800型氧化铝多晶体纤维（日本进口） |
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控制方式
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采用宇电程序控温仪表（标配） 1、50段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1720度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换进口仪表，需要另外付费，选购） |
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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升温速率 |
≤20℃/分钟（可根据要求修改） |
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推荐升温速率 |
≤10℃/分 |
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加热段长 |
300mm |
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热电偶 |
B型 |
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温度校准（选配） |
定期对管式炉进行温度校准，可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括标准热电偶，温度校准仪，补偿导线 |
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电器认证 |
CE |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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法兰和阀门 |
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分子泵机组
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机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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真空挡板阀 |
KF40 |
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分子泵
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
380V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启动压强 |
<10pa |
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分子泵前级真空泵 FX-32 |
功率 |
1.5KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
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极限压强 |
4X10 -2Pa |
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复合真空计
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复合真空计型号 |
ZDF-III |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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质保期
一年保修，终身技术支持
特别提示：1.耗材部分如加热元件，炉管，样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.当使用的炉管为刚玉管时，炉体温度高于1500℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
7.MoSi2加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)使用,否则将可能损坏加热元件
TL1700 产品描述
管式炉以硅钼棒为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
1、加热元件
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（1）、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。
（2）、采用的是热弯技术，电阻均匀，使用寿命长
（3）、Lu冷端长度为210mm， 400X300X300炉子为260 ，一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
（4）、硅钼棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护硅钼棒。
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
进口炉膛 VS 国产炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、该炉膛不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、触发器
软启动限流触发器 大部分厂家使用的非限流
厦门博特触发器
1、移相触发（带软启动和限流功能）
2. 限流功能：无论怎么调节升温时间，我们电炉经过变压器后的二次电流被限制在170A以内，有限的保护了设备。非限流触发器，如果升温速率设置错误或者过快、低温时电流非常大，设备会跳闸或烧坏。
3、软启动功能：开机时电流会慢慢增大，对加热元件的冲击较小，有利于加热元件寿命的延长
4、保护功能：如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。
7、UL认证变压器
8、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm）
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
9、认证
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管式炉标准配件
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描叙 |
数量 |
图片 |
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TL1700管式炉 |
1套 |
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刚玉管 |
1根 |
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不锈钢法兰 |
1套 |
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不锈钢炉钩 |
1个 |
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氧化铝炉塞 |
1对 |
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高温手套 |
1双 |
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氧化铝坩埚 |
1个 |
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| B型热电偶 | 1个 |  |
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485转换接口和软件（选配） |
1套 |
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说明书 |
1本 |
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法兰支撑架 |
1对 |
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| 高真空抽气系统 | 1台 |  |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 真空挡板阀 | 1个 |  |
