VS高真空系统
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分子泵机组
（方案一或方案二任选一个） |
机组输入电压 |
220V |
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波纹管 |
KF25X1000 |
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真空挡板阀 |
KF25 |
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机箱尺寸 |
730X650X1250 |
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分子泵 （方案一）
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分子泵型号 |
FF-100/300 |
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输入电压 |
220V |
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分子泵进气口法兰 |
DN100 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
300 |
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分子泵极限压强（Pa) |
5×10-7 |
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冷却方式 |
风冷 |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启动压强 |
<100pa |
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分子泵前级真空泵VDR-16
（方案一）
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功率 |
0.75KW |
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电压 |
220V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
4 |
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极限压强 |
4X10 -2Pa |
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电压 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽气接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前机泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽气速率（N2） |
33L/S |
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复合真空计
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复合真空计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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VDR-16真空泵 |
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电阻真空计 |
进口电阻真空计 （可选） |
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国产电阻真空计（标配） |
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波纹管 |
KF25（标配） |
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KF40 （可选） |
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真空挡板阀 |
KF25（标配） |
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KF40（可选） |
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KF卡套 标配3套 |
KF25（标配） |
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KF40（可选） |
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变径法兰 |
KF25（标配） |
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KF40（可选） |
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