6英寸石墨烯晶圆生长设备
技术参数
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型号 |
SP-6VIM |
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优点 |
1、采用立式炉体，正面开门结构，进出料方便，炉体结构紧凑，占地空间小； 2、可以50段程序控温，控温精确，可以控制升温速率和恒温时间。 3、比管式炉更安全，没有断管子的风险 4、可以在更大尺寸的晶片上生长石墨烯 5、带有三路供气系统，可在触摸屏上直接设置流量，数字显示，操作简单 6、安装有稳压系统，可把炉体内气压稳定在某一数值 7、带有气体分散系统，可将进入炉腔内的气体尽可能的分散，使反应更加均匀 8、安装有水冷机，水冷机具有欠压和断水报警，使用安全可靠。 9、采用IGBT电源，具有过温、断水保护并具有报警、输出电流显示等功能。 |
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最大输入功率 |
39KW（感应电源35KW+真空泵0.75KW+冷水机3.2KW） |
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最高温度 |
1800℃ |
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外形尺寸 |
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铜圈尺寸 |
274mm(OD)X250mm(ID)X80mm(H) |
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石墨盘尺寸 |
外径160mm，壁厚2mm，内高15mm，外高25mm |
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石英管 |
250mm(OD)X240mm(ID)X450mm(H) |
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工作电压 |
三相 AC380V 50Hz |
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中频电源 |
功率 |
35KW |
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振荡频率 |
1~20KHZ |
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加热电流 |
10~70A |
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| 加热电压 | 70~550V | |
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负载持续率 |
100% |
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冷却水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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| 保护 | 带有欠水压、过热、过功率保护 | |
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气体分散装置 |
多孔石英板位于石墨盘正上方，气体从上法兰进气口进来后，经过多孔石英板被分散之后与石墨盘中物料充分接触，反应更均匀 |
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稳压系统
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稳压系统由真空泵、英国欧陆控制器、宇电控制器、压力变送器、电容规等组成。 在进气量小于2000SCCM，此稳压系统可将腔体内压力控制在0~20000Pa范围内的某一数值。压力波动±1Pa 宇电控制器和压力变送器用于控制真空泵的启动和粗略真空控制，压力变送器量程-100KPa~100KPa 欧陆仪表和电容规用于精确控制真空，压力测量范围0~20000Pa |
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供气系统
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供气系统由质量流量计，液晶屏，控制软件组成，可在液晶屏上直接输入流量数值，精准控制流量 |
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物料升降平台 |
物料可以通过自动升降平台到加热区、降下来后可从炉门处拿出。 1、升降平台行程 300mm 2、升降平台升降速度 0.1um-2000um/s 3、升降平台上下都做了限位，最大限度的保护设备 4、放料取料都很方便 |
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不锈钢支架 |
不锈钢支架垂直固定在移动架子上，石英管和法兰通过支撑板固定于不锈钢支架上，非常牢固、紧凑 |
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下真空法兰 |
下不锈钢法兰上带有高温硅胶O型圈，并焊接有KF25接头、KF16接口和进气阀门，KF25接头上安装有真空挡板阀，1米长波纹管连接于该阀和真空泵，KF16接口可接真空计 |
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上真空法兰 |
上真空法兰安装有压力表和进气阀，法兰盖配有2种，一种带玻璃观察窗，可观察管内物料融化的情况，一种热电偶，可对物料进行程序升温 |
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耐火材料 |
炉管内的耐火装置由日本三菱1900型氧化铝纤维制成，最高温度可耐1800℃，顶部开有小孔，可插入热电偶 |
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保护装置 |
在炉管的四周安装有钢化玻璃和固定钢化玻璃的铝型材，可以很好的保护使用者的安全 |
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控温系统
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采用PID控制，可对物料进行程序控温加热，可同时手动调节电流输出大小，设备带有过温保护 |
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热电偶 |
钨铼5/26 |
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控温精度 |
+/-5℃ |
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保护玻璃 |
在炉管的四周安装有钢化玻璃和固定钢化玻璃的铝型材，可以很好的保护使用者的安全 |
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真空泵 |
型 号 | YTP750-4H |
| 功 率 | 0.75KW | |
| 电源电压 | 三相380V | |
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转 速 |
1420r/min | |
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水冷机（选购）
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型 号 |
HZ-03A |
| 最大扬程 | 38M | |
| 制冷量 | 7.224*10³kcal/h | |
| 水箱容量 | 60L | |
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输入总功率 |
3.2KW |
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机器尺寸 |
520X1150X1145(长X宽X高) |
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认证 |
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质保期 |
1年，耗材除外 |
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| 注意事项 |
1、此款熔炼炉需在真空或气压小于0.02MPa（相对气压）的低压条件下使用； 2、若用户需要在气氛条件下进行实验，必须在进气气瓶上安装减压阀，减压阀的气压设置要小于0.02MPa， 进气流量<200SCCM（200ml/min) 3、请您仔细阅读说明书，了解真空熔炼和惰性气体环境下熔炼的标准操作程序。在操作过程中请密切监控并正 确控制反应容器内部压力，否则，操作失败可能导致设备损坏或人身伤害 4、对样品加热时，不建议关闭抽气阀和进气阀使用。若气阀关闭对样品加热，要时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀，以防不可预见的损失 如您需要定制，请联系我公司工程师 |
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本产品由石英管、炉体、升降装置、不锈钢水冷法兰、耐火材料、供气系统、真空系统、稳压系统及中频电源控制系统等组成：
1、炉体：炉体由电器柜，不锈钢支架组成，不锈钢支架固定在电器柜上，用于支撑法兰。
2、不锈钢支架：不锈钢支架垂直固定在电器柜上，石英管和法兰通过支撑板固定于不锈钢支架上，非常牢固、紧凑
3、不锈钢法兰：上真空法兰安装有热电偶和进气阀，热电偶，可对物料进行程序升温。下不锈钢法兰上焊接有真空腔体，在真空腔体上开有炉门，可从该炉门拿取物料、腔体上焊接有KF25接头，可接四通，安装真空挡板阀，1米长波纹管连接于该阀和真空泵，KF16接口可接真空计
4、温控系统和热电偶：用PID控制，可对物料进行程序控温加热，可同时手动调节电流输出大小，设备带有过温保护
5、电器柜：由型铁板组焊成柜架结构，静电喷涂工艺。
6、水冷系统：由各种阀、管道等相关装置组成，断水时感应电压会声光报警、自动切断加热电源。
7、加热电源：电源采用最新技术，整套电源相当于一台电脑主机般大小，外观小巧、
8、耐火材料：采用日本进口氧化铝纤维材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。
9、供气系统：由质量流量计、供气管道、液晶显示屏以及控制软件等组成。可直接在液晶屏上设置气体流量，数字显示，控制精准，操作简单。
10、真空系统：由真空泵、真空管道、真空计、电阻规等组成，该设备真空度在10Pa左右。
11、稳压系统：由真空泵、英国欧陆控制器、宇电控制器、压力变送器、电容规等组成，此稳压系统可将腔体内压力控制在某一数值，波动很小。
